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等離子體是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產生的物質。等離子清洗/刻蝕產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電磁場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也越來越長，受磁場作用，發生碰撞而形成等離子體，同時會發生輝光。等離子體在電磁場內空間運動，并轟擊被處理物體表面，從而達到表面處理、清洗和刻蝕的效果。
等離子清洗機可用于除去透射電鏡樣品及樣品桿上的污染，防止碳沉積以降低圖像分辨率及對樣品微區分析造成誤判。還可利用該儀器清洗各類光闌等電子顯微鏡配件。特別適用于場發射透射電鏡和場發射掃描電鏡。用這種低能高頻等離子體清洗樣品表面，不會改變樣品元素成份和表面結構特征。
該清洗機具有H2，O2，Ar三組分通道。從而能夠利用H2/02組分，可減小樣品濺射損傷，還可對多孔碳膜進行無破壞的清洗。從而提高樣品在低電壓下的成像能力，在化學微量分析時提高其精度。無油真空系統：泵體部分由多級隔膜泵和超靜音分子泵組成，真空度可達10E-4Pa等級，在保證真空度的同時，可在兩分鐘之內達到抽真空和放氣過程；整個清洗過程在4分鐘內可以完成。還可清洗大部分標準透射電鏡樣品桿以及掃描電鏡樣品載臺及不規則樣品，樣品室直徑>8cm，樣品室高度>5cm。
等離子清洗機根據它用途的不同，可選用多種構造的清洗設備，并可通過選用不同種類的氣體，調整裝置的特征參數等方法使工藝流程實現，但等離子體清洗裝置的基本結構大致是相同的。關于等離子清洗機的相關知識點就先說到這里了，這款產品還有很多的常識等著各位來發現與了解，如果您還想要了解更多內容，還請先關注好我們，小編會不定期在此跟大家分享更多的信息。
2024-07-26
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